セラミックス－マシナブル セラミックス
マシナブル セラミックス【切削性セラミックス】
特徴
- セラミックスの主な特性（耐熱性・電気絶縁性等）を生かし尚かつ機械加工性に優れています。
- 少量他品種品に適しており、試作は勿論、マシナブルセラミックスの最大の特徴である短納期対応が可能です。
- 微細加工・ミクロンオーダ加工が可能です。
- セラミックス単体加工から、様々な表面処理技術・加工技術で貴社のオリジナル部品としての納入も可能です。
マシナブルセラミックス 主な特徴と用途
| 主な特徴 | 用途例 | |
|---|---|---|
| 酸化物系 | ●精密加工性 | ●真空装置絶縁部材 |
| ●電気絶縁性 | ●試作機器部品 | |
| ●断熱性・耐熱性 | ●レーザ部品 | |
| ●真空特性 | ●プラズマ装置部品 | |
| ●半導体製造装置の各種部品 | ||
| 非酸化物系 ボロン系 |
●高温化での電気絶縁性 | ●半導体製造装置の各種部品 |
| ●高熱伝導度性 | ●金属、ガラス離型・耐食材料 | |
| ●自己潤滑性 | ●電子部品組立治具 | |
| ●低熱膨張性 | ●電気炉絶縁部材 | |
| ●化学的安定 | ●シリコン(Si)へのホウ素(B)ドーパント | |
| ●放熱板 |